三維云紋干涉儀由于采用柵線密度為600-1200線/毫米甚至超過(guò)2000線/毫米的高密度衍射光柵作為試件柵，其測(cè)量靈敏度和全息干涉法、散斑干涉法一樣，可達(dá)到波長(zhǎng)量級(jí)，比傳統(tǒng)云紋法要高出30—120倍。此外，這種方法還具有全場(chǎng)分析、實(shí)時(shí)觀測(cè)、高反差條紋，以及直接獲取離面內(nèi)位移場(chǎng)和應(yīng)變場(chǎng)等優(yōu)點(diǎn)。近幾年來(lái)，云紋干涉法在基本理論、實(shí)驗(yàn)技術(shù)、試件柵復(fù)制工藝等方面正趨于完善，而且已經(jīng)在應(yīng)變分析、復(fù)合材料、斷裂力學(xué)、殘余應(yīng)力測(cè)量等方面獲得了成功的應(yīng)用，是一種具有發(fā)展和應(yīng)用前景的新的實(shí)驗(yàn)力學(xué)方法。

　　三維云紋干涉儀是在二維面內(nèi)云紋干涉儀的基礎(chǔ)上增加離面云紋測(cè)量的儀器系統(tǒng)，該離面位移的測(cè)量系統(tǒng)實(shí)際是一種干涉光路。由于測(cè)量條紋直觀，靈敏度十分高，所以云紋法得到廣泛應(yīng)用。

　　一、儀器配置及參數(shù)

　　準(zhǔn)直鏡直徑f150~200mm，K9光學(xué)玻璃，非球面，焦距450mm~600mm;

　　氦氖激光：功率20mw、(波長(zhǎng)632.8nm外腔式氦氖氣態(tài)偏振激光或波長(zhǎng)532nm固體泵浦激光);

　　f4過(guò)半球擴(kuò)束鏡;

　　λ/4高能全反射鏡，反射率≧99%;

　　最大位移靈敏度：離面0.316微米(λ/2);面內(nèi)0.417微米(1200線/mm);

　　最大測(cè)試范圍0.1~35mm2;

　　放大倍數(shù)0.2~200倍;

　　條紋分辨率100條/mm;

　　圖像采集卡：進(jìn)口高速采集卡、256灰度、30幀/秒;

　　CCD攝像：Watec-902H、靈敏度0.01流明、分辨率570線;

　　成像鏡頭：焦距50的CCTV定焦頭;

　　加載系統(tǒng)：實(shí)現(xiàn)拉壓彎三種載荷模擬及相應(yīng)自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，帶有力傳感器及數(shù)碼顯示;

　　力傳感器：量程1500N、精度±1N;

　　進(jìn)口相移驅(qū)動(dòng)器：相移靈敏度:∽20nm/V，單通道，最大量程150V;

　　二、選配件

　　A)隔振臺(tái)：2m×1m;臺(tái)高800mm、主動(dòng)式氣墊隔振、5Hz;

　　B)全息云紋光柵：已經(jīng)轉(zhuǎn)移好正交柵的試件;

　　光柵頻率：1200或600lines/mm

　　正交性：π/2±0.5x10-4

　　衍射效率：大于入射光強(qiáng)的10%

　　光柵面積：15mm×20mm

　　基底尺寸：25mm×100mm

　　基底材料：有機(jī)玻璃或鋁合金

　　零場(chǎng)：≤1級(jí)條紋